美國Honeywell 氣體偵測器探頭 MIDAS-E-HFX 現貨
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測量的氣體為氟化氮（NF3）
濾芯部件號 MIDAS-S-HFX 1年標準保修期
MIDAS-E-HFX 2年延長保修期
傳感器技術 3個電極的電化學電池
測量范圍（ppm） HF 0 - 12 ppm
最小報警1 設定點 1.5ppm
重復性 < 測量值的± 10
線性度 < 測量值的±10%。
響應時間 t
62.5 < 30秒
傳感器盒的預期壽命 ≥ 24個月，在典型應用條件下
操作溫度 0°C to +40°C (32°F to 104°F)
溫度的影響 < ± 0.002ppm / °C (在0°C到20°C)
零點 < ± 0.008ppm / °C (在 20°C 至 40°C)
靈敏度 < 測量值的± 0.4% / °C
工作濕度（連續） 20 - 75% rH 1
濕度的影響
零點 < ± 0.003ppm / % rH
靈敏度 < 測量值的± 1% / % rH
工作壓力 90 - 110kPa
位置的影響 典型應用中沒有影響
長期漂移
零點 無漂移
靈敏度 < 測量值的15%/年
校準氣體 氟化氫(HF)
挑戰氣體（撞擊測試） 氯氣（Cl2
)
預熱時間 < 20分鐘
儲存溫度 +5°C至+25°C (+41°F至+77°F)
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